光学晶圆处理加热器

在晶圆厂车间，一片300mm晶圆正静置，等待软烘以固定光刻胶轮廓。一个热点，一个冷区，线宽控制即告失效。生产线停摆。我们设计了这款光学晶圆处理加热器，旨在防止此类情况发生。 技术上真正重要的因素 该装置依赖短波红外（SWIR）石英发射器，将能量直接传递至光刻胶和基底——快速、直接且无附加复杂操作。...