无臭氧红外灯

在线上，300 mm晶圆静候烘烤。软烤温度漂移0.3℃，即可见CD偏移、叠合偏斜，整批产品进入返工流程。烤箱设定点看似稳定，但载具上的传感器显示出不同情况——热点、冷边，薄膜固化异常。 你运营的是Class 1–100级洁净室，密切关注每立方英尺的粒子计数，追踪每次偏差到根源。传统灯具可以提供热量...