近红外光晶圆干燥机

当温度控制出现偏差时，光刻胶的固化效果就会受到影响。清洁过程中留下的微小水滴实际上会成为缺陷产生的诱因。虽然光刻胶烘烤装置能够显示出目标温度，但实际上，整个批次产品的质量差异会体现在线宽和表面污渍上。解决这个问题的方法并非简单地增加热量，而是要精确控制热量输入。 关键在于精确的温度控制 我们设计的...