节能晶圆加热器

别再浪费时间等待晶圆加热了 如果你仍然使用热空气循环的方式来加热晶圆，那其实是在与时间作无谓的斗争。因为热空气的加热速度很慢，必须先让整个腔室以及其中的空气都达到合适的温度，晶圆才能感受到温度变化。这种漫长的等待过程会大大浪费你的时间。 而改用红外线加热方式则完全不同。红外线可以直接将能量传递到晶...