快速热处理 RTP 灯

在生产车间，你知道事情是怎样的：软烘焙中的半度漂移会改变光刻胶的轮廓，而这种变化会影响你的关键尺寸。热预算要求严格，绝无失误的余地。 底层重要性 我们使用短波卤素加热的RTP灯，通过高纯度石英进行加热，因此能量快速且方向明确。该系统在整个工艺窗口中保持晶圆级热均匀性，偏差为±0.1°C，从光刻胶软...