악몽을 막는 방법: 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 수소 센서 제작에 종사해본 사람이라면 잘 알고 있을 것입니다. 실리콘 웨이퍼의 온도를 높이기 위해 단파 적외선 램프를 사용합니다. 이 방법은 잘 작동하지만, 문제가 생기면 상황이 위험해집니다. 고...

IR 가열 vs. 핫에어: 생체센서 제작을 위한 더 나은 방법 생체센서를 제작할 때, 경화 및 건조 과정은 종종 매우 번거로운 작업입니다. 대부분의 기존 장비들은 여전히 핫에어를 사용합니다. 물론 이 방법도 효과는 있지만, 속도가 너무 느립니다. 정말로 매우 느립니다...

서론 우리가 이 적외선 할로겐 히터를 만든 이유는 단 하나입니다. 바로 탄소 나노튜브 제조 과정에서 발생하는 문제들을 해결하기 위해서입니다. 이 히터는 반도체 심층 가공 라인에서 사용되는 구식의 열풍 시스템을 대체하기 위해 개발되었습니다. 그곳에서 가장 큰 문제는 바...

생산 라인에서는 어떤 것도 기다릴 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 약간의 온도 변동만 있어도, 웨이퍼의 치수가 변질될 수 있습니다. 그러면 웨이퍼는 폐기되고, 리소그래피 공정도 중단됩니다. 따라서 하루 종일 아무 일도 하지 않는 장비가 아니라,...