ヒーターの配線が破損しないようにする方法
半導体製造に使われる機器は非常に過酷な環境下で動作します。高い温度で動き、精密な処理を行うため、誤差の余地はありません。そのため、私たちはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。このコーティングは、高温になっても溶けたり、異常なガスを発生させたりしません。これこそが望ましい特性です。
しかし、問題は、材料自体だけでは不十分だということです。 例えば、絶縁体に微細な穴があったとします。肉眼では見えないほどの小さな穴です。でも、そのわずかな隙間があるだけで、瞬時に短絡が起こり、数百万ドル分のウェーハが破壊されてしまいます。これは誰もが避けたい悪夢です。
なぜすべての部分をテストするのか
私たちは「サンプル検査」を行いません。100本の配線のうち1本だけをテストして、うまくいくことを願うわけにはいきません。 私たちが作るすべての配線は、工場を出る前に、完全な耐電圧試験および絶縁抵抗試験を受けます。つまり、高電圧をかけてテフロンコーティングがしっかりしているかを確認しているのです。 もし、配線の製造過程で微細な空洞や薄い部分があった場合、電圧がそこを通過してしまいます。そうなる前に、工場内でその不具合を見つけ出す方が良いのです。これが、電流が本来あるべき場所に留まり、チassis内に漏れ出ない唯一の方法です。
テフロンの難点
テフロンが最適な素材であるのには理由があります。PVCやシリコンなら、このような過酷な環境ではすぐに燃えてしまいます。 しかし、実際に扱ってみると、PTFEを剥がしたり接続したりするのは非常に難しいことがわかります。もし、技術者が力を入れすぎて導体を傷つけてしまったら、工場で行ったあらゆるテストも意味をなさなくなります。 自分を守るためにも、正確な剥線工具を使いましょう。少し時間はかかりますが、コーティングを傷つけずに済みます。
配線の接続方法
ヒーターに配線を接続する際には、非常に高い熱密度に耐えなければなりません。私たちの絶縁材は、ケーブルトレイが狭くて乱雑な状態でも、相間の短絡を防ぎます。 ただし、配線自体は熱に耐えられても、コネクタが耐えられなければ意味がありません。コネクタが溶けてしまったら、どんなに優れた絶縁材があっても回路を守ることはできません。 私たちは、火事に耐えられるように配線を作っています。ですから、接続部がしっかりしていて、コネクタがその用途に適していることを確認してください。