Keramische Endkappen für IR-Emitter: Reduzierung der Bearbeitungszeiten im tiefen Halbleiterverarbeitungsprozess
Wir haben diesen keramischen IR-Emitter aus einem einzigen Grund entwickelt: um die Verwendung von Heißluft in der tiefen Halbleiterverarbeitung zu ersetzen und die Wartezeiten zu verkürzen.
Der Unterschied: Bei der Verwendung von Heißluft muss zunächst die Luft erhitzt werden – anschließend muss man warten, bis die Wärme das Substrat erreicht hat. Bei Infrarotstrahlung hingegen trifft die Energie direkt auf das Zielobjekt. Dadurch werden die Bearbeitungszeiten verkürzt. Punkt.
Technische Eigenschaften: Leistung, Spannung und Abmessungen
Dieser Emitter verfügt über eine hohe Leistung. Er wird mit einer Spannung von 400 V betrieben und liefert 2500 W an konzentrierter Energie über einen 300-mm-langen Tubus.
Warum 400 V? Dadurch wird der Stromverbrauch verringert – was wiederum die Elektroanschlüsse vereinfacht. Allerdings erfordert diese hohe Leistung eine robuste elektrische Anbindung.
Die Länge von 300 mm: Dadurch entsteht eine gezielte Wärmezone. Man erhält die benötigte Intensität, ohne dass die Größe der Maschine zunimmt.
Material & Design: Halogen, Beschichtung und Anschlüsse
Im Inneren befindet sich ein Halogen-Element in einem Quarztubus. Dieses Element reagiert schnell. Zudem wird der Emitter durch eine keramische Endkappe geschützt – dadurch bleiben die elektrischen Verbindungen stabil, auch wenn die Temperatur ständig schwankt.
Der Tubus besitzt außerdem eine spezielle Beschichtung, die das Infrarotspektrum bündelt und die Strahlungsleistung konstant hält.
Anschlüsse: Wir haben uns für einen R7s-Anschluss entschieden. Es handelt sich dabei um einen industrietauglichen Anschluss, der eine einfache Ersatzmöglichkeit bietet.
Anwendung & Vorteile: Tiefere Halbleiterverarbeitung
Bei der tiefen Halbleiterverarbeitung ist die Zeit, die zum Erhitzen benötigt wird, ein wichtiges Problem. Mit diesem Emitter kann man Wafer und Substrate direkt erhitzen – ohne erst den gesamten Raum zu erwärmen. Der Startvorgang ist schnell, und die Temperatur steigt sofort an.
Die keramische Endkappe sorgt außerdem dafür, dass alles zuverlässig funktioniert – auch in schwierigen Umgebungsbedingungen.
Der Kompromiss: Die 2500 W Leistung erzeugen eine hohe Wärmestärke. Deshalb muss das Kühlsystem der Maschine gut ausgelegt sein, um den Temperaturanstieg bewältigen zu können.
Vorteile: Weniger Wartungsaufwand, mehr Betriebszeit – und eine Maschine, die weiterhin effizient arbeitet.