MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何利用辐射热正确干燥MEMS传感器晶圆 干燥MEMS传感器晶圆是一项技术上相当复杂的任务。需要足够的热量来去除其中的湿气，但若热量过大，就会破坏那些极其微小的结构。 因此，我们使用镀金反射器。虽然这听起来很复杂，但目的其实很简单：确保红外热量能够直接作用于晶圆上，而不是让机器内部温度上升而已。...