用于光刻胶的最佳红外灯

在光刻工序中，温度控制非常重要。哪怕温度只变化半度，都可能影响线条的宽度。而如果加热温度过高，会导致光阻材料变得过硬，从而难以被显影剂溶解，进而导致不必要的缺陷。 至于那些红外灯，它们并非单纯的加热器，而是真正的工艺工具。 真正重要的因素 我们设计的红外灯能够发出短波红外线，使光阻材料能快速且均匀...