如何利用辐射热正确干燥MEMS传感器晶圆
干燥MEMS传感器晶圆是一项技术上相当复杂的任务。需要足够的热量来去除其中的湿气，但若热量过大，就会破坏那些极其微小的结构。
因此，我们使用镀金反射器。虽然这听起来很复杂，但目的其实很简单：确保红外热量能够直接作用于晶圆上，而不是让机器内部温度上升而已。
为什么选择黄金？
大多数人最初会选择铝制反射器，但铝会吸收和散射大量能量，这样反而浪费资源。因此，我们选择高纯度的黄金作为反射材料。因为黄金更擅长反射红外光，这样热量就不会流失到机器的其他部分，而是直接作用于晶圆上。这样一来，就不必提升功率就能获得足够的热量。
在有限空间内发挥最大效能
在选择这类加热器时，关键在于能量密度——也就是在较小体积内产生尽可能多的热量。通过集中辐射能量，我们可以用更少的功率达到理想的干燥效果。这样一来，加热速度更快，每块晶圆的加工时间也会减少。
不过，也有代价
不过，这种高强度的加热方式会对灯丝和外壳造成损伤。如果试图通过提高功率来加快加热速度，那么很可能会烧毁灯丝或使反射器变形。因此，必须找到一个平衡点，即确保反射出的热量适中，同时又能让系统有效排出多余热量。
安装方法
这类加热器设计为可直接替代常规的红外模块，因此安装起来并不复杂。需要注意的是，灯轴与镀金反射面必须完全对齐。如果灯的位置稍有偏移，就会导致加热不均匀。最后一点建议：请将加热器连接到稳定的电源上。电压波动会严重缩短灯的使用寿命。