用于冲洗的防水红外线灯

消除瓶颈：用于晶圆干燥的红外灯与热风干燥法的比较 如果你曾在半导体工厂工作过，就会知道，清洗环节往往是流程中效率最低的部分。而晶圆干燥则更是麻烦重重。 大多数工厂仍然依赖热风干燥法。不过，这种方法的问题在于：为了去除晶圆表面的少量水分，不得不加热整个房间里的空气。这需要大量能量来让空气循环，过程极...