UHP(초고순도) 히터 램프

팹의 가열 성능을 최적화하는 방법 웨이퍼 처리나 CVD 공정을 진행할 때, 가열 램프가 전체 공정의 핵심이라는 것은 잘 알고 계실 것입니다. 하지만 현대적인 팹에서는 단순한 가열 요소만으로는 충분하지 않습니다. 실제로 디지털 제어 시스템과 연동되는 가열 소스가 필요합...