なぜ、私たちはヒーターチューブのテストにここまで力を入れるのか？ 誰だって、単一のヒーターランプが故障して生産ライン全体が停止してしまったと上司に報告しなければならない suchな状況にはなりたくありません。それはまさに悪夢です。わずかな絶縁不良があるだけで、機器が壊れてしまい、莫大な停工期間を余...

熱制御が不安定になると、歩留まりが低下します。きれいに洗浄しても、微小な水滴が残ってしまい、これらの水滴は欠陥を引き起こす原因となります。フォトレジストを焼成する際、ディスプレイ上では目標温度が表示されますが、バッチ全体を通して見ると、線幅や汚れという形でその影響が現れます。解決策は単により多くの...