ในกระบวนการจัดสรรความร้อนนั้น อุณหภูมิไม่ใช่เพียงแค่พารามิเตอร์หนึ่งเท่านั้น แต่อุณหภูมิก็คือส่วนประกอบสำคัญของกระบวนการนั้นเอง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 5°C ในระหว่างการอบฟอโตเรซิสต์หรือการทำให้เอป็อกซีแข็งตัว ก็สามารถส่งผลให้ความสูงของส่วนที่ยื่นออกมาเปลี่ยนแปลงไป และส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์ด้วย หน่วยทำความร้อนชนิดนี้ถูกออกแบบมาเพื่อรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่กำหนดไว้ โดยจะควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ในทุกๆ รอบการทำงาน
สิ่งที่สำคัญจริงๆ อุณหภูมิจะมีความเสถียรอยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิวที่ใช้งาน ดังนั้นจึงไม่จำเป็นต้องปรับแต่งค่าอุณหภูมิอยู่เรื่อยๆ องค์ประกอบอินฟราเรดคลื่นสั้นช่วยให้มีการถ่ายโอนพลังงานได้อย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ และยังช่วยลดการสะสมความร้อนได้อีกด้วย นอกจากนี้ บริเวณที่ใช้ทำความร้อนยังถูกแยกออกจากส่วนอื่นๆ เพื่อลดการเกิดอนุภาคในระหว่างการทำความร้อน หน่วยนี้ถูกออกแบบมาเพื่อใช้งานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยมีระบบระบายอากาศที่ดี และวัสดุที่ใช้ก็มีคุณสมบัติช่วยลดการปนเปื้อนได้ดี กระแสไฟฟ้าและแรงดันไฟฟ้าที่ใช้ก็สอดคล้องกับเครื่องมือการบรรจุทั่วไป และขนาดของหน่วยนี้ก็เหมาะสำหรับการนำไปใช้ร่วมกับโมดูลการอบและการทำให้วัสดุแข็งตัวได้โดยตรง
เหตุผลที่หน่วยนี้สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพคือ เพราะมันช่วยรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอตั้งแต่ศูนย์กลางไปจนถึงขอบ ซึ่งช่วยลดการต้องทำงานใหม่ และช่วยปกป้องชั้นที่ใช้ในการจัดสรรความร้อนได้ นอกจากนี้ ยังช่วยให้ความสูงของส่วนที่ยื่นออกมามีความสม่ำเสมอมากขึ้น และช่วยลดจำนวนช่องว่างในวัสดุที่ใช้ในการบรรจุได้อีกด้วย นอกจากนี้ หน่วยนี้ยังใช้พลังงานน้อย และสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ได้โดยไม่มีการเกินระดับที่กำหนดไว้ และมีประสิทธิภาพในการทำงานตลอด 24/7 ซึ่งหากมีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ก็จะส่งผลให้เกิดการสูญเสียผลิตภัณฑ์ได้
ข้อควรระวัง หน่วยนี้สามารถเชื่อมต่อกับเครื่องมือมาตรฐานได้ แต่ค่าความคลาดเคลื่อนในการปรับองศานั้นค่อนข้างสูง ดังนั้นควรจัดสรรเวลาอย่างน้อยหนึ่งวันสำหรับการติดตั้งและการตรวจสอบค่าอุณหภูมิ หลังจากที่หยุดทำงานเป็นเวลานาน ควรใช้เวลาประมาณ 30 นาทีเพื่อให้อุณหภูมิกลับมาอยู่ในระดับที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ ควรควบคุมความชื้นในอากาศให้ดี เพราะวัสดุบางชนิดมีความไวต่อความชื้น ดังนั้นความสม่ำเสมอในการทำงานจึงขึ้นอยู่กับความชื้นในอากาศด้วย
หน่วยนี้ไม่ใช่อุปกรณ์ที่สามารถนำมาใช้ได้ทันที แต่เป็นอุปกรณ์ที่มีความสำคัญมากต่อกระบวนการผลิต จึงจำเป็นต้องมีการตั้งค่าอย่างระมัดระวัง