เมื่อการควบคุมอุณหภูมิไม่แม่นยำ ก็จะส่งผลให้อัตราการผลิตลดลง การล้างด้วยน้ำสะอาดอาจทิ้งหยดน้ำขนาดเล็กไว้ และหยดน้ำเหล่านี้ก็เปรียบเสมือนสาเหตุของข้อบกพร่องต่างๆ ในกระบวนการผลิต แม้ว่าเครื่องอบฟอโตรีซิสต์จะสามารถแสดงอุณหภูมิที่ต้องการได้ แต่ในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ ก็ยังมีความแตกต่างของอุณหภูมิเกิดขึ้น คำตอบไม่ใช่การเพิ่มความร้อนเข้าไปมากขึ้น แต่คือการควบคุมความร้อนอย่างเหมาะสม
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราออกแบบเครื่องอบวัสดุด้วยรังสีอินฟราเรดในย่านความยาวคลื่นสั้น เพื่อให้พลังงานสามารถซึมเข้าไปได้โดยไม่ทำให้พื้นผิวถูกเผาไหม้ การตอบสนองของเครื่องอยู่ในระดับไม่กี่วินาที และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C ตัวเครื่องสามารถใช้งานร่วมกับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 ได้ โดยมีวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบการไหลของอากาศที่ช่วยลดการเกิดอนุภาคต่างๆ ความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิตสามารถควบคุมได้ด้วยเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำ และระบบควบคุมแบบปิด ดังนั้น ทุกขั้นตอนการอบและการทำให้แห้งจะมีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอเสมอ
เหตุผลที่เครื่องนี้เหมาะสำหรับการใช้งานจริง
ในกระบวนการลิธอกราฟี เครื่องอบด้วยรังสีอินฟราเรดช่วยให้เกิดกระบวนการอบที่เหมาะสมกับฟอโตรีซิสต์ ซึ่งช่วยลดความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ในขั้นตอนการทำความสะอาดและการทำให้แห้ง เครื่องนี้ช่วยขจัดความชื้นที่เหลืออยู่ได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ทิ้งรอยต่างๆ ซึ่งหมายความว่าจะมีการต้องทำงานซ้ำน้อยลง และมีของเสียน้อยลง ในขั้นตอนการบรรจุ เครื่องนี้ช่วยให้กระบวนการ curing เกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็วและมีความแม่นยำ ทำให้ลดเวลาการผลิตลง นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกส่งไปตามความต้องการเท่านั้น ไม่ได้ถูกเก็บไว้ในแผ่นร้อน ความน่าเชื่อถือของเครื่องนี้ได้รับการพิสูจน์แล้วในการใช้งานจริง โดยเครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดที่ไม่คาดคิด และสามารถใช้งานได้หลายพันชั่วโมง
รายละเอียดการใช้งาน
เครื่องอบด้วยรังสีอินฟราเรดสามารถนำมาใช้ร่วมกับเครื่องมืออื่นๆ ได้ แต่ต้องรักษาความสะอาดของเส้นทางการส่งรังสีให้ดี ต้องมีพื้นที่สะอาดรอบๆ หน้าต่างสำหรับส่งรังสี และต้องให้แน่ใจว่าสเปกตรัมของรังสีตรงกับวัสดุที่ใช้ เพราะพอลิเมอร์บางชนิดจะดูดซับรังสีอินฟราเรดได้แตกต่างกัน ควรมีการปรับแต่งเล็กน้อยเมื่อเปลี่ยนชนิดของฟอโตรีซิสต์ และควรบันทึกค่าที่ตั้งใหม่ไว้ด้วย เมื่อทุกอย่างถูกปรับให้เหมาะสมแล้ว กระบวนการผลิตก็จะอยู่ภายใต้การควบคุมได้อย่างดี