手套箱红外加热元件

利用红外加热技术减少半导体加工环境中的碳排放 说实话，为半导体加工而加热真空箱其实是一种能源浪费。大多数系统都采用电阻式加热方式，这意味着为了使工件达到所需温度，必须加热整个真空箱。这种做法效率极低。 我们找到了更好的方法——使用短波红外加热元件。这样一来，热量可以直接传导到需要加热的部件上，而无...