如何恰到好处地加热晶圆（同时避免能量浪费）
在洁净室中，如果晶圆在运输过程中温度下降，那将会导致生产效率大幅下降。因此，我们使用轨道式加热器来保持晶圆的温度。不过，真正的挑战在于：关键不在于能产生多少热量，而在于确保热量能够真正传递到晶圆上，而不是仅仅让金属外壳变热而已。
为何选择黄金涂层
大多数人最初会使用铝制反射器，但这类材料会吸收过多的红外能量。我们改用高纯度黄金涂层，因为它们可以反射超过98%的辐射能量。可以说，黄金涂层就像一面镜子，它将能量集中到一个方向上，从而确保每一瓦特的热量都能用来加热晶圆，而不是让整个房间变热。
速度与“热点”问题
我们使用高功率短波灯，因为它们能快速达到目标温度。这样可以实现迅速升温的效果，这正是我们所需要的。不过，有个问题：如果黄金涂层的表面不够平整，就会在晶圆上形成热点。因此，我们必须非常注重涂层的质量，确保其表面平整且一致性良好。
权衡利弊：需谨慎处理
黄金确实具有出色的聚焦效果，但它也相当“挑剔”。不能使用粗糙的清洁剂来擦拭这些表面，因为哪怕有一点划痕或化学物质残留，都会降低其反射率。一旦出现这种情况，加热器就需要加倍努力来维持温度，而灯丝则会更快烧坏。
最后一点建议：请检查PID控制器。由于黄金涂层使得系统反应速度远远快于普通加热器，所以温度会迅速上升。您需要调整好相关参数，否则就有可能烧毁晶圆。