可控气氛烘烤灯

在光刻工艺中，烘烤步骤并非简单的暂停过程，而是一个关键的工艺环节。如果烘烤温度出现偏差，那么就会影响到线宽的控制精度。而如果烘烤过程不均匀，那么就会产生杂质或缺陷。在热预算有限的条件下，烘烤灯必须能够始终保持极高的稳定性，确保整个晶圆上的温度均匀一致，同时避免产生任何颗粒或误差。 红外精准控制：亚...