Menghentikan masalah kelewatan proses pengeringan: IR berbanding udara panas
Jika anda pernah bekerja di bengkel semikonduktor, anda pasti tahu bahawa proses pembersihan merupakan langkah yang sering menyebabkan kelewatan. Proses pengeringan wafer juga merupakan proses yang memerlukan masa yang lama.
Kebanyakan tempat masih menggunakan kaedah udara panas untuk pengeringan. Namun, masalahnya ialah kita perlu memanaskan seluruh ruangan tersebut hanya untuk menghilangkan sedikit kelembapan pada permukaan wafer. Ini memerlukan penggunaan jumlah udara yang banyak, dan prosesnya sangat lambat.
Kelewatan inilah yang menjadi masalah utama.
Udara panas bergantung pada konveksi, iaitu proses menunggu haba merebak ke seluruh ruangan. Dalam proses pengeluaran yang memerlukan kelajuan tinggi, kelewatan ini merupakan pembaziran wang.
Lampu inframerah (IR) pula berfungsi secara berbeza. Ia tidak memerlukan penggunaan udara sama sekali. Lampu ini akan menghantar tenaga terus ke molekul air pada permukaan wafer. Cara ini lebih cepat.
Namun, bukan semua lampu boleh digunakan untuk tujuan ini. Memandangkan kita berada di stesen pembersihan, terdapat risiko cecair terpercik dan kelembapan yang tinggi. Jika kita menggunakan lampu biasa, terminalnya akan rosak dalam masa beberapa minggu sahaja. Kita memerlukan lampu IR yang kalis air, dengan lapisan pelindung yang dapat menghalang kelembapan daripada masuk ke dalam lampu tersebut.
Tetapi ia bukanlah penyelesaian yang sempurna.
Walaupun lampu IR dapat menghasilkan haba dengan cepat, ia tetap boleh menyebabkan masalah jika digunakan secara tidak betul. Jika lampu tersebut diletakkan di posisi yang salah atau kuasanya terlalu tinggi, ia boleh merosakkan wafer tersebut. Kita perlu menyesuaikan jarak dan kuasa lampu tersebut agar tidak merosakkan wafer tersebut.
Aplikasi praktikal
Banyak syarikat kini beralih kepada penggunaan lampu IR semasa menaik taraf fasiliti pengeluaran mereka. Ini kerana ia dapat menjimatkan ruang. Kita tidak perlu lagi menggunakan alat pengudaraan yang besar serta saluran udara yang rumit.
Dengan menggunakan lampu IR, masa pengeringan dapat dikurangkan. Namun, pastikan sistem penyejukan mampu menangani haba yang dihasilkan oleh lampu tersebut. Jika tidak, suasana di bengkel akan menjadi sangat panas, seolah-olah berada di sauna.