Di bilik pengeluaran, anda tahu betapa cepatnya perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanasan photoresist boleh merosakkan hasil kerja yang telah diambil selama berminggu-minggu. Perubahan suhu yang tidak konsisten dalam proses pengeringan wafer juga merupakan masalah yang serius. Komponen pemanas perlu berfungsi dengan baik agar selaras dengan proses yang berlaku dalam mesin tersebut.
Apa yang penting di bahagian dalam lampu tersebut
Kami membina lampu inframerah yang menggunakan bahan molibdenum sebagai sokongan, bersama-sama dengan filamen yang mempunyai kepekaan tinggi terhadap cahaya, serta reka bentuk reflektor yang stabil. Ini membolehkan kawalan suhu yang tepat, dengan kestabilan suhu pada tahap ±0.1°C di kawasan panas. Sokongan molibdenum ini mampu mengekalkan bentuknya walaupun melalui proses pemanasan yang berulang kali. Selain itu, lapisan lampu tersebut sesuai untuk digunakan dalam persekitaran berkualiti tinggi, dari kelas 1 hingga kelas 100. Output lampu tetap stabil, walaupun ia beroperasi selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti cahaya kurang dari 5%.
Mengapa lampu ini sesuai untuk kegunaan anda
Lampu ini direka khusus untuk proses-proses termal yang digunakan dalam pengeluaran, seperti pengeringan wafer, proses pemanasan photoresist, serta proses pembungkusan. Kestabilan suhu yang tinggi membantu mengurangkan ketidakkonsistenan ketebalan garis pada wafer, serta mengurangkan penumpukan pelarut, sekaligus membantu mengawal ketepatan ukuran wafer. Proses pemanasan yang cepat dan terkawal membolehkan masa pemprosesan diminimumkan, tanpa menyebabkan masalah lain. Sistem pemanasan yang bersih dan bebas daripada zarah-zarah kecil membantu menjaga kualiti wafer yang sangat sensitif.
Perkara yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Toleransi yang digunakan sangat ketat. Pastikan bahawa lampu dipasang dengan betul pada port yang disediakan, dan pastikan antaramuka pemasangan sesuai dengan spesifikasi pengilang asal. Jika terjadi ketidakselarasan, ia akan menyebabkan timbulnya titik panas dan perubahan suhu yang tidak diingini. Lampu ini beroperasi pada kadar kuasa yang tinggi, jadi pastikan bahawa sistem bekalan kuasa mampu menanggung beban tersebut, dan saluran aliran udara harus bebas daripada halangan. Ini akan membantu mengekalkan suhu filamen pada tahap yang stabil. Anda perlu menunggu masa yang cukup untuk lampu mencapai suhu operasinya yang stabil, agar hasil kerja tetap konsisten dari satu sesi ke sesi yang lain.