Di dalam kilang, pemanggangan fotoresist bukanlah pilihan—ia adalah spesifikasi. Jika suhu terlewat sebanyak 1°C pada pemanggangan lembut atau keras, kawalan CD anda akan terjejas. Satu pengembaraan partikel, dan anda mungkin terpaksa membuang keseluruhan kumpulan. Kami merancang lampu inframerah chip-on-wafer kami untuk menghapuskan variasi tersebut, sepadan dengan perilaku termal yang diperlukan oleh alat semikonduktor canggih.
Apa yang penting di dalam sistem Kami menggunakan emisi inframerah dekat (NIR) untuk memindahkan tenaga terus ke wafer dan fotoresist. Ini memberikan pemanasan yang cepat dan terfokus dengan inersia termal yang rendah. Di seluruh zon proses, anda mendapatkan keseragaman pada tahap wafer dalam ±0.1°C, dan kebolehulangan yang memastikan anda berada dalam bajet termal yang ketat. Sistem ini dibina untuk kehidupan bilik bersih—sesuai untuk Kelas 1–100—dan ia disusun supaya operasi dalam keadaan tetap tidak mencetuskan pengembaraan partikel. Dalam pemasangan yang memenuhi syarat, ia telah beroperasi 24/7 tanpa sebarang waktu henti yang tidak dirancang, dan ia menyokong kawalan termal yang tepat yang diperlukan oleh litografi dan urutan pemanggangan fotoresist. Mengapa ini berfungsi dalam pengeluaran Dalam kilang sebenar, haba perlu tiba dengan cepat, bertahan stabil, dan tidak meninggalkan apa-apa. Pemanasan NIR mengurangkan masa pemanasan tanpa melebihi, jadi anda memendekkan masa kitaran dan meningkatkan pengeluaran. Dengan keseragaman yang ketat, anda mengurangkan risiko isu tepi bead dan ketidakseragaman ketebalan—hasil pada wafer berpola meningkat. Penggunaan tenaga adalah efisien kerana pemanasan dilakukan mengikut permintaan dan kerugian dalam keadaan siap adalah kecil, jadi kos operasi menurun. Lampu-lampu ini juga memberikan pilihan yang disahkan dan setara dengan prestasi kepada piawaian peralatan antarabangsa, jadi anda boleh menukarnya tanpa perlu mengesahkan semula keseluruhan barisan. Apa yang perlu anda betulkan Pemasangan bergantung kepada pemadanan antara antara muka mekanikal dan elektrik alat tersebut. Sahkan voltan, jenis penyambung, dan ruang pemasangan sebelum anda menukarnya. Lampu berfungsi dengan terbaik apabila laluan optik tetap bersih dan jarak sasaran tidak bergerak—sebarang pergeseran akan mengubah taburan intensiti. Kami menyertakan nota permohonan untuk penjajaran dan pengendalian bilik bersih supaya anda dapat mengekalkan jumlah partikel yang stabil.