Di bilik litografi, anda pasti tahu bagaimana keadaannya. Suhu yang terlalu rendah pun boleh mengganggu ketepatan garis-garis yang dihasilkan. Sebaliknya, suhu yang terlalu tinggi pula akan menyebabkan bahan pelindung menjadi terlalu keras sehingga sukar untuk dibersihkan, dan ini akan menyebabkan masalah yang tidak diinginkan.
Lampu inframerah tersebut bukan sekadar alat pemanas semata-mata. Ia merupakan alat yang digunakan dalam proses pengeluaran, secara ringkasnya.
Apa yang benar-benar penting
Kita menggunakan lampu inframerah berfrekuensi rendah agar bahan pelindung dapat menyerap haba dengan cepat. Ini membolehkan proses pemanasan berlaku dengan cepat, dengan sedikit gangguan haba, dan kawasan permukaan wafer tetap seragam pada tahap ±0.1°C. Pemancar cahaya tersebut disambungkan kepada sumber tenaga yang stabil, supaya hasilnya tetap konsisten. Selain itu, lampu ini direka untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100, tanpa sebarang zarah kotor yang terbentuk. Anda boleh mengharapkan jangka hayat lampu ini melebihi 5,000 jam, dengan penurunan prestasi kurang dari 5%. Lampu ini juga boleh digunakan 24/7 tanpa perlu henti kerja yang tidak dirancang.
Mengapa ini penting dalam proses pengeluaran
Proses pemanasan yang lembut membantu meningkatkan daya lekat bahan pelindung dan membuang bahan pelarutnya. Proses pemanasan yang kuat pula membantu menjaga integriti lapisan pelindung tersebut. Dengan lampu ini, kita dapat mengawal suhu dengan lebih baik untuk setiap kumpulan wafer yang diproses. Profil suhu yang sama akan berlaku pada setiap wafer, sehingga kawalan ketepatan ukuran wafer menjadi lebih mudah.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana lampu hanya memanaskan objek yang diproses, bukan permukaan sekelilingnya. Dengan ini, jumlah penggantian lampu juga berkurangan, sekali gus mengurangkan pembaziran.
Apa yang perlu diperhatikan
Pastikan lampu tersebut sesuai dengan geometri bilik pemprosesan serta kurva transmisi tingkap kuarsa. Jika tidak, reflektans dan titik panas akan merosakkan keseragaman hasil pemprosesan. Semak jenis penyambung, voltan, serta sistem penyejukan lampu tersebut mengikut spesifikasi peralatan anda.
Rancanglah untuk melakukan kalibrasi berkala terhadap pirometre dan output pemancar cahaya tersebut. Lampu tersebut akan berfungsi dengan baik, tetapi hanya jika semua komponen sistem lain juga berfungsi dengan baik.