MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
방사열을 이용해 MEMS 웨이퍼를 효과적으로 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 신중한 작업입니다. 수분을 제거하기 위해서는 충분한 열이 필요하지만, 너무 과도한 열을 가하면 그 미세한 구조들이 손상될 수 있습니다.
그래서 우리는 금으로 코팅된...
공장 건조 공정의 에너지 감사
제조 공정에서 먼지를 막는 방법
만약 100등급의 클린룸을 운영하고 있다면, 아마도 이미 알고 있겠지만, 아주 작은 먼지 입자나 가스도 전체 제품을 망칠 수 있습니다. 일반적인 가열 요소들은 이러한 상황에서는 전혀 쓸모가 없습니다. 그런 요소들은 부서지거나 표면에서...
의류 건조 히터
안에 걸려 있는 젖은 빨래는 마르는 데 시간이 오래 걸릴 뿐만 아니라, 공간의 쾌적함도 떨어뜨리고 안전 문제까지 일으킬 수 있습니다. 습기가 남아 있으면 곰팡이 냄새가 나고 공기도 서늘해집니다. 적외선 의류 건조기는 즉각적인 열을 공급하여 빨래가 더 빨리 마르도록 하...
웨이퍼 건조를 위한 적외선 방식과 대류 방식 비교
제조 현장에서는 수율이 몇 도나 나노미터 단위로 결정됩니다. 반도체 웨이퍼를 가열할 때 온도가 0.5도만 변해도 웨이퍼의 두께에 변화가 생길 수 있으며, 대류식 오븐의 공기 흐름으로 인해 입자들이 새롭게 코팅된 포토레지스트 필름 위에 달라붙을 수도 있습니다. 중요한...
마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터
마이크로 LED 웨이퍼가 세척 과정을 마치는 순간부터 시간과의 싸움이 시작됩니다. 남아 있는 수분과 열적 영향으로 인해 제품의 품질이 빠르게 저하됩니다. 포토레지스트의 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서는 온도를 ±0.1°C 이내로 유지해야 합니다. 그렇지 않으면...