Các bộ phát tia hồng ngoại dạng đầu nhựa gốm: Giúp giảm thời gian xử lý trong quy trình sản xuất semiconductor
Chúng tôi tạo ra các bộ phát tia hồng ngoại dạng đầu nhựa gốm này với mục đích rõ ràng: thay thế phương pháp sử dụng không khí nóng trong quy trình xử lý semiconductor, từ đó giúp giảm thời gian chờ đợi cần thiết.
Sự khác biệt nằm ở chỗ: Với phương pháp sử dụng không khí nóng, trước tiên cần làm nóng không khí, sau đó mới chờ cho hơi nóng lan tỏa đến bề mặt vật liệu cần xử lý. Trong khi đó, với phương pháp sử dụng tia hồng ngoại, năng lượng được truyền trực tiếp vào bề mặt vật liệu. Điều này giúp rút ngắn thời gian xử lý.
Chi tiết kỹ thuật: Công suất, điện áp và kích thước
Bộ phát tia hồng ngoại này có công suất cao, hoạt động ở điện áp 400V và có khả năng phát ra 2500W năng lượng qua ống dài 300mm.
Tại sao lại chọn điện áp 400V? Bởi vì điều này giúp giảm dòng điện cần thiết, từ đó giúp việc lắp đặt dây điện và các bộ phận liên quan trở nên đơn giản hơn. Tuy nhiên, công suất cao đòi hỏi hệ thống điện phải đủ mạnh để đáp ứng nhu cầu.
Kích thước 300mm giúp tạo ra vùng nhiệt tập trung, từ đó giúp đạt được mức nhiệt cần thiết mà không làm tăng kích thước máy móc.
Vật liệu và thiết kế: Halogen, lớp phủ và các bộ phận kết nối
Bên trong bộ phát tia hồng ngoại có bo mạch halogen hoạt động ở tần số sóng ngắn, nên phản ứng rất nhanh. Sau đó, bo mạch này được bọc trong lớp nhựa gốm, giúp chịu được sự thay đổi nhiệt độ mà không bị nứt vỡ. Lớp nhựa gốm này cũng giúp duy trì tính ổn định của các kết nối điện, ngay cả khi nhiệt độ thay đổi liên tục.
Ống dẫn còn được phủ một lớp chuyên dụng để tập trung tia hồng ngoại và giữ cho độ phát xạ luôn ổn định.
Để kết nối, chúng tôi sử dụng bộ kết nối R7s. Đây là loại bộ kết nối chất lượng cao, đã được kiểm chứng, giúp việc thay thế bộ phát tia hồng ngoại trở nên dễ dàng hơn.
Ứng dụng và lợi ích: Quy trình xử lý semiconductor
Trong quy trình xử lý semiconductor, thời gian cần thiết để làm nóng vật liệu là một trong những yếu tố gây cản trở quá trình sản xuất. Với bộ phát tia hồng ngoại này, việc làm nóng wafer và vật liệu diễn ra trực tiếp, không cần phải làm nóng toàn bộ căn phòng trước. Thời gian khởi động rất nhanh, và nhiệt độ cũng tăng lên ngay lập tức.
Lớp nhựa gốm bảo vệ bộ phát tia hồng ngoại khỏi những tác động tiêu cực của môi trường xung quanh.
Tuy nhiên, công suất 2500W tạo ra mật độ nhiệt cao, vì vậy hệ thống làm mát của máy móc cần được thiết kế phù hợp để đối phó với sự gia tăng nhiệt độ này.
Ưu điểm là giảm thiểu thời gian bảo trì, tăng thời gian hoạt động của máy móc, và giúp quy trình sản xuất diễn ra liên tục.