Trên sàn sản xuất, quá trình nướng photoresist không phải là tùy chọn - đó là thông số kỹ thuật. Nếu nhiệt độ nướng mềm hoặc nướng cứng lệch 1°C, sự kiểm soát CD của bạn sẽ bị trôi. Chỉ cần một lần rơi hạt, và bạn có thể phải loại bỏ toàn bộ lô. Chúng tôi đã thiết kế đèn hồng ngoại chip-on-wafer của mình để loại bỏ sự biến động đó, phù hợp với hành vi nhiệt mà các công cụ bán dẫn tiên tiến yêu cầu.
Những gì quan trọng bên trong
Chúng tôi sử dụng phát xạ hồng ngoại gần (NIR) để truyền năng lượng trực tiếp vào wafer và photoresist. Điều này mang lại khả năng gia nhiệt nhanh chóng, tập trung với quán tính nhiệt thấp. Trong khu vực quy trình, bạn có được sự đồng nhất ở cấp độ wafer trong khoảng ±0.1°C, và khả năng lặp lại giúp bạn giữ trong những ngân sách nhiệt chặt chẽ.
Hệ thống được thiết kế để phù hợp với môi trường phòng sạch - có thể hoạt động trong Class 1–100 - và nó được thiết lập để hoạt động ổn định không kích hoạt sự rơi hạt. Trong các lắp đặt đạt chuẩn, nó đã hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng hoạt động không dự kiến, và nó hỗ trợ loại kiểm soát nhiệt chính xác mà quy trình quang khắc và nướng photoresist cần.
Tại sao điều này hoạt động trong sản xuất
Trong một nhà máy thực sự, nhiệt phải đến nhanh, giữ ổn định và không để lại gì. NIR heating giảm thời gian tăng nhiệt mà không vượt quá, do đó bạn cắt giảm thời gian chu kỳ và cải thiện năng suất. Với sự đồng nhất chặt chẽ, bạn giảm thiểu rủi ro về các vấn đề viền và độ dày không đồng nhất - năng suất trên các wafer có hoa văn được cải thiện.
Mức tiêu thụ năng lượng rất kinh tế vì việc gia nhiệt theo yêu cầu và tổn thất chờ rất nhỏ, do đó chi phí vận hành giảm. Các đèn cũng cung cấp cho bạn một tùy chọn đã được xác nhận, tương đương về hiệu suất với các tiêu chuẩn thiết bị quốc tế, vì vậy bạn có thể thay thế chúng mà không cần xác nhận lại toàn bộ dây chuyền.
Những gì bạn cần làm đúng
Việc lắp đặt phụ thuộc vào việc khớp các giao diện cơ khí và điện của thiết bị. Xác nhận điện áp, loại đầu nối và khoảng cách lắp đặt trước khi bạn thay thế. Đèn hoạt động tốt nhất khi đường dẫn quang học sạch và khoảng cách mục tiêu không thay đổi - bất kỳ sự trôi nào đều làm thay đổi phân phối cường độ.
Chúng tôi bao gồm các ghi chú ứng dụng cho việc căn chỉnh và xử lý trong phòng sạch để bạn có thể giữ ổn định số lượng hạt.