Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, bạn biết đấy, mọi thứ đều rất nhạy cảm. Việc nung ở nhiệt độ không chính xác, dù chỉ chênh lệch nửa độ C, cũng có thể làm sai lệch độ dày của các đường kẻ trên bề mặt wafer. Ngược lại, việc nung ở nhiệt độ quá cao sẽ khiến lớp chống hóa chất trên bề mặt wafer bị khô cứng, điều này sẽ gây khó khăn trong quá trình xử lý sau đó.
Còn những chiếc đèn hồng ngoại kia thì sao? Chúng không chỉ đơn giản là những thiết bị sưởi ấm thôi đâu. Chúng chính là những công cụ hỗ trợ quy trình sản xuất.
Điều quan trọng nhất là gì? Chúng tôi chế tạo những chiếc đèn này dựa trên nguyên lý sóng hồng ngoại cường độ cao, sao cho lớp chống hóa chất có thể hấp thụ nhiệt một cách nhanh chóng. Điều này giúp giảm thời gian nung, giảm độ trễ về mặt nhiệt độ, và đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer, với sai số dưới 0,1°C. Bộ phận phát nhiệt được kết nối với nguồn điện ổn định, giúp duy trì độ chính xác của nhiệt độ. Thiết bị này cũng được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100, với tỷ lệ hạt bụi bằng không. Bạn có thể sử dụng thiết bị này trong hơn 5.000 giờ mà không gặp vấn đề gì về hiệu suất, và có thể hoạt động 24/7 mà không cần dừng máy.
Tại sao điều này lại quan trọng? Quá trình nung mềm giúp tăng độ bám của các chất lên bề mặt wafer và loại bỏ các chất hòa tan. Quá trình nung cứng giúp đảm bảo tính ổn định của lớp chống hóa chất. Với chiếc đèn này, bạn có thể kiểm soát chính xác nhiệt độ trong từng lô sản xuất. Điều này giúp kiểm soát độ chính xác của kích thước wafer và tăng tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì đèn chỉ làm nóng chính bề mặt wafer, chứ không phải toàn bộ khung xung quanh. Việc thay thế đèn ít hơn cũng giúp giảm thời gian dừng máy và giảm lượng sản phẩm bị hỏng.
Những điều cần lưu ý: Hãy đảm bảo rằng đèn được ghép nối phù hợp với kết cấu của buồng xử lý và độ truyền ánh sáng của cửa sổ thủy tinh. Nếu không, ánh sáng phản xạ và các điểm nóng sẽ làm giảm độ đồng đều của nhiệt độ. Hãy kiểm tra loại kết nối, điện áp, và con đường dẫn nhiệt của đèn sao cho phù hợp với thiết bị của bạn.
Hãy lên kế hoạch để điều chỉnh lại nhiệt độ của đèn định kỳ. Đèn sẽ hoạt động tốt, nhưng chỉ khi toàn bộ hệ thống được điều chỉnh đúng cách.