Sebaik sahaja wafer Micro LED selesai dibersihkan, masa mula berjalan dengan cepat. Kelembapan yang tinggal serta kesan haba akan merosakkan kualiti wafer tersebut dengan cepat. Proses pemanggangan bahan fotoresist perlu dilakukan pada suhu antara ±0.1°C; jika tidak, kawalan ketebalan garis dan daya lekat bahan tersebut akan terjejas. Pemanas yang digunakan perlu memastikan suhu yang tepat, tanpa menambahkan zarah-zarah yang boleh merosakkan wafer tersebut.
Apa yang perlu dilakukan oleh alat ini ialah mengulangi proses penyesuaian suhu secara cepat, serta memastikan permukaan wafer tetap bersih. Kami menggunakan elemen inframerah gelombang pendek dalam bilik isolasi kuarsa untuk memanaskan wafer dengan cepat, kemudian mengekalkan suhu tersebut. Kecemerlangan suhu di seluruh permukaan wafer adalah antara ±0.1°C, dan sistem kawalan suhu memastikan suhu tetap stabil.
Alat ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dengan permukaan yang telah dipolish dan reka bentuk aliran udara yang efektif agar tiada zarah berbahaya terbentuk. Profil pemanggangan bahan fotoresist kekal konsisten dari satu batch ke batch yang lain, kerana algoritma kawalan dapat mengimbangi perubahan massa bahan dan pengaruh persekitaran. Kebolehpercayaan alat ini untuk beroperasi selama 24 jam adalah sesuatu yang pasti, bukan sekadar janji semata-mata. Kami menjamin tiada gangguan operasi semasa proses pengeluaran.
Alat ini membantu memendekkan masa yang diperlukan untuk proses penyejukan dan pemanggangan, serta mengurangkan sisa bahan yang terbentuk akibat sisa pelarut. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana pemanas ini dapat mengawal suhu dengan cepat tanpa melebihi had yang ditetapkan. Selain itu, jarak penyelenggaraan juga bertambah lama, kerana komponen pemanas ini dirancang untuk bertahan ribuan kali penggunaan.
Satu perkara penting yang perlu diambil kira semasa pemasangan ialah pemanas ini memerlukan sumber kuasa 240 V yang khusus, serta udara yang bersih dan kering untuk memastikan proses pembersihan berjalan dengan baik. Penyesuaian dimensi alat ini dengan antaramuka pemprosesan juga sangat penting, jadi rancang integrasi mekanikal dan elektrikal lebih awal. Kami menyediakan gambaran dimensi dan peta sambungan untuk memastikan segala komponen berfungsi dengan baik.