Pada garis pengeluaran, kualiti hasil pengeringan akan terjejas apabila kawalan suhu tidak berfungsi dengan baik. Proses pencucian yang bersih sekalipun akan meninggalkan titisan air kecil, dan titisan-titisan ini sebenarnya menjadi penyebab timbulnya kecacatan pada permukaan wafer. Alat pengering jenis photoresist mungkin dapat menunjukkan suhu yang diinginkan pada skrin, tetapi perbezaan suhu antara wafer yang berbeza akan menyebabkan masalah pada ketebalan lapisan photoresist serta kemunculan kotoran pada permukaannya. Penyelesaiannya bukan sekadar memberikan lebih banyak haba, tetapi menggunakan haba yang dikawal dengan tepat.
Apa yang penting dalam proses pengeringan
Kami mencipta alat pengering NIR ini menggunakan pemancar cahaya inframerah jarak dekat yang berpanjang gelombang pendek, agar tenaga cahaya dapat meresap ke dalam wafer tanpa memanaskan permukaannya. Masa tindak balasnya sangat pantas, dan ketepatan suhu pada seluruh permukaan wafer adalah ±0.1°C. Bilik pengeringan ini sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dengan bahan-bahan yang menghasilkan gas yang minimum, serta sistem aliran udara yang efektif untuk mengelakkan pembentukan zarah-zarah halus. Ketepatan proses pengeringan dapat dicapai melalui penggunaan sensor yang telah dikalibrasi dan sistem kawalan tertutup, sehingga setiap langkah pengeringan akan berjalan dengan tepat.
Mengapa alat ini sesuai untuk digunakan dalam proses industri
Dalam proses litografi, alat pengering NIR ini dapat membantu proses pengeringan yang diperlukan oleh photoresist, sekaligus menjaga keseragaman ketebalan lapisan photoresist. Dalam proses pembersihan dan pengeringan, alat ini dapat menghilangkan sisa kelembapan tanpa meninggalkan kesan buruk pada permukaan wafer, sehingga mengurangkan keperluan untuk memulakan semula proses pengeluaran. Dalam proses pembungkusan pula, alat ini membolehkan proses pengeringan yang cepat dan stabil, sekaligus memendekkan masa pengeluaran. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba disalurkan secara tepat, bukan disimpan dalam plat panas. Kebolehpercayaan alat ini telah terbukti dalam penggunaan sebenar: alat ini dapat beroperasi 24/7 tanpa gangguan, dan jangka masa servisnya boleh mencapai ribuan jam.
Butiran praktikal
Alat pengering NIR ini boleh digunakan bersama-sama dengan alat-alat yang sudah ada, namun perlu memastikan bahawa laluan cahaya tetap bersih dan teratur. Pastikan juga bahawa ruang di sekitar tingkap pemancar cahaya cukup bersih, dan pastikan spektrum cahaya yang digunakan sesuai dengan jenis polimer yang digunakan. Perlu ada penyesuaian kecil apabila menukar jenis photoresist yang digunakan, dan ingatlah untuk merekodkan tetapan baru tersebut. Setelah semuanya disesuaikan dengan betul, proses pengeringan akan berjalan dengan lancar.