Di bilik pengeluaran tersebut, proses pengeluaran tidak boleh menunggu apa-apa. Sebarang perubahan suhu semasa proses pembakaran akan menyebabkan dimensi komponen tersebut berubah. Wafer yang terjejas akan dibuang, dan proses litografi akan terhenti. Oleh itu, diperlukan platform pemanasan yang boleh berfungsi dengan baik, bukannya platform yang hanya berada dalam keadaan tidak aktif sepanjang hari.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kita perlu memastikan keseragaman suhu pada wafer pada tahap ±0.1°C. Dengan cara ini, kita dapat mengawal suhu dengan lebih baik dan memastikan kualiti produk tetap terjaga. Gelombang inframerah jarak pendek dan sederhana, digabungkan dengan modul yang diperbuat daripada kuarsa dan serat karbon, membantu meningkatkan kelajuan pemanasan tanpa sebarang kelewatan. Ini membolehkan proses pembakaran berjalan secara stabil, dari suhu 90°C hingga 150°C, dari satu kitaran ke kitaran seterusnya.
Perangkat keras ini berfungsi dengan sempurna—tanpa adanya zarah-zarah yang boleh merosakkan perangkat tersebut. Oleh itu, ia sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Dalam operasi 24/7, tiada masa henti yang tidak dirancang, dan jangka hayat perangkat ini melebihi 30,000 jam. Kepastian hasil pengeluaran dapat dipertahankan melalui kawalan berbentuk lingkaran tertutup, penyimpanan maklumat proses, serta rekod suhu yang boleh dijejaki.
Mengapa sistem ini sesuai untuk proses litografi
Toleransi dalam proses pemprosesan fotoresist sangat ketat, dan semua orang tahu hal ini. Sistem ini memastikan suhu tetap berada dalam julat yang ditetapkan, sehingga bahan pelarut dapat dikeluarkan secara seragam semasa proses pembakaran. Ini seterusnya memastikan kualiti film yang dihasilkan tetap baik, tanpa berlaku pembakaran yang berlebihan atau tidak mencukupi. Ini akan mengurangkan keperluan untuk memulakan semula proses pengeluaran, meningkatkan kadar pengeluaran, dan memastikan prestasi yang konsisten.
Penggunaan tenaga dapat dikurangkan melalui kawalan pulsa dan pengambilan semula haba. Dengan cara ini, kos operasi dapat dikurangkan tanpa mengurangkan kelajuan pengeluaran.
Beberapa butiran praktikal
Pemasangan perangkat ini memerlukan sistem bekalan kuasa khusus. Sistem ini membantu mengawal fluktuasi suhu semasa berlakunya gangguan pada sistem elektrik. Pemindahan modul dilakukan tanpa menggunakan alat khas, namun integrasi penuh dengan antaramuka yang ada memerlukan ujian singkat untuk memastikan data yang dikumpulkan adalah tepat.
Sediakan masa dua jam untuk proses penyesuaian perangkat, diikuti dengan ujian selama 24 jam untuk memastikan tiada perubahan suhu yang tidak diinginkan.