Di lantai pembuatan, sebuah wafer 300mm diletakkan, menunggu proses soft bake untuk mengunci profil photoresist. Satu titik panas, satu zon sejuk, dan kawalan lebar garis anda hilang. Proses terhenti. Kami membina pemanas pemprosesan wafer optik ini untuk mengelakkan situasi tersebut daripada berlaku sejak awal.
Apa yang sebenarnya penting, dari segi teknikal
Unit ini menggunakan pemancar kuarza inframerah gelombang pendek (SWIR), yang membekalkan tenaga secara langsung ke photoresist dan substrat—cepat, terus, dan tanpa kerumitan. Anda mendapat keseragaman pada tahap wafer dalam julat ±0.1°C merentasi kawasan aktif, supaya langkah pembakaran kritikal kekal dalam had bajet terma. Ia sesuai digunakan dalam bilik bersih dari Kelas 1 hingga Kelas 100, dan tidak menghasilkan zarah semasa beroperasi. Kebolehulangan suhu dikekalkan pada ±0.2°C dari satu batch ke batch lain, dan pemanas ini terus berfungsi 24/7 tanpa sebarang masa henti tidak dirancang.
Mengapa ia sesuai dengan kerja yang kami lakukan
Pemanas ini memenuhi empat titik terma utama yang kami gunakan: pengeringan wafer, soft bake dan hard bake photoresist, pengisian underfill dan pengerasan enkapsulasi dalam pembungkusan, serta pengeringan selepas pembersihan.
Dalam litografi, keseragaman ketat ini memastikan sasaran CD dan profil berada dalam spesifikasi, yang bermaksud kurang sisa dan pengulangan kerja. Dalam pembungkusan, peningkatan suhu yang cepat memendekkan tempoh pengerasan tanpa overshoot, jadi produktiviti bertambah baik. Dan kerana SWIR memanaskan secara langsung dan bukan memanaskan ruang, penggunaan tenaga berkurangan.
Berikut adalah butiran yang anda perlukan
Pemasangan bergantung pada kesesuaian ruang mekanikal alat dan litar penyejukannya. Kami menyediakan lukisan antara muka dan senarai penyambung untuk memudahkan integrasi.
Jangka hayat pemancar dianggarkan sehingga 10,000 jam. Selepas itu, perubahan output boleh mula menjejaskan keseragaman melainkan anda merancang penggantian. Oleh itu, rancang jadual penyelenggaraan terlebih dahulu—jangan tunggu sehingga ia menunjukkan masalah di lantai pengeluaran.