जैसे ही माइक्रो एलईडी वेफर सफाई के बाद तैयार होता है, समय तेजी से बीतने लगता है। शेष नमी एवं ऊष्मा के कारण वेफर की गुणवत्ता तेजी से कम होने लगती है। फोटोरेसिस्ट को सही तापमान पर ही सुखाना आवश्यक है; अन्यथा लाइनों की गुणवत्ता में गिरावट आ जाती है। ड्रायिंग हीटर को ऐसी सटीकता से काम करना होता है, ताकि कोई कण न उत्पन्न हो, एवं लाइनों की गुणवत्ता बनी रहे।
इस उपकरण को तो बस तापमान को स्थिर रखना ही है… और इसे साफ रखना भी आवश्यक है। हमने अपने माइक्रो एलईडी वेफर ड्रायिंग हीटर को क्वार्ट्ज-आधारित चैंबरों में बनाया है; ताकि वेफर को तेजी से सही तापमान पर लाया जा सके, एवं वहाँ ही स्थिर रह सके। वेफर के सक्रिय क्षेत्र में तापमान की एकरूपता ±0.1°C है, एवं रैम्प कंट्रोल के कारण ऊष्मा स्तर भी स्थिर रहता है।
यह उपकरण क्लास 1–100 के स्वच्छ कमरों में ही काम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है… इसके आंतरिक भाग चिकने हैं, एवं लैमिनर फ्लो ज्यामिति के कारण कोई कण ही उत्पन्न नहीं होता। फोटोरेसिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया हर बार समान ही रहती है… क्योंकि कंट्रोल एल्गोरिथ्म, कैरियर मास एवं पर्यावरणीय परिवर्तनों को संतुलित करता है। 24 घंटे तक लगातार काम करने की क्षमता इस उपकरण में पहले से ही है… हम उत्पादन प्रक्रिया के दौरान किसी भी तरह के बंद होने की स्थिति को रोकने का वादा करते हैं।
यह उपकरण उत्पादन दक्षता में सुधार करने हेतु ही बनाया गया है… यह ड्रायिंग/बेकिंग प्रक्रिया को संक्षिप्त करता है, सफाई एवं लिथोग्राफी के बीच का समय कम करता है, एवं किनारों पर बनने वाली अनावश्यक चीजों एवं घोलों की समस्याओं को भी कम करता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि हीटर तेजी से काम करता है, एवं तापमान को स्थिर रखता है। रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है… क्योंकि इसमें कम ऊष्मा-भार है, एवं इसके घटक हजारों बार तक काम कर सकते हैं।
स्थापना संबंधी एक महत्वपूर्ण बात यह है कि हीटर को 240 वोल्ट की विशेष विद्युत आपूर्ति एवं साफ, सूखी हवा की आवश्यकता है… ताकि इसका काम सही तरह से हो सके। उपकरण के आकार को आपके हैंडलर इंटरफेस के अनुरूप ही रखना आवश्यक है… इसलिए मैकेनिकल एवं विद्युत एकीकरण की योजना पहले ही बनानी आवश्यक है। हम आवश्यक आयामी चित्र एवं पिन-आउट मानचित्र भी प्रदान करते हैं… ताकि उपकरण ठीक से फिट हो सके, एवं प्रक्रिया भी सही तरह से चल सके।