फैब फ्लोर पर, एक 300mm वेफर रखा है, जो फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल को लॉक करने के लिए सॉफ्ट बेक का इंतजार कर रहा है। एक हॉट स्पॉट, एक कोल्ड ज़ोन, और आपकी लाइनविड्थ नियंत्रण खो जाएगी। लाइन रुक जाएगी। हमने यह ऑप्टिकल वेफर प्रोसेसिंग हीटर इसीलिए बनाया है ताकि ऐसा शुरू में ही न हो।
तकनीकी रूप से जो वास्तव में मायने रखता है
यह यूनिट शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (SWIR) क्वार्ट्ज एमिटर्स पर निर्भर करता है, जो ऊर्जा सीधे फोटोरेसिस्ट और सब्सट्रेट में डालता है—तेजी से, सीधे, और बिना किसी उलझन के। आपको एक्टिव एरिया में ±0.1°C के भीतर वेफर-स्तरीय समानता मिलती है, जिससे महत्वपूर्ण बेक स्टेप्स थर्मल बजट के अंदर रहते हैं। यह क्लीनरूम-योग्य है, क्लास 1 से क्लास 100 तक, और काम करते समय यह कोई पार्टिकल उत्पन्न नहीं करता। तापमान की पुनरावृत्ति बैच से बैच ±0.2°C पर स्थिर रहती है, और हीटर 24/7 चलता रहता है बिना किसी अनियोजित डाउनटाइम के।
हमारे काम के लिए यह क्यों उपयुक्त है
यह हीटर उन चार थर्मल पिवट्स को पूरा करता है जिन पर हम काम करते हैं: वेफर ड्राइंग, फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक, पैकेजिंग अंडरफिल और इनकैप्सुलेट क्योरिंग, तथा पोस्ट-क्लीन ड्राइंग।
लिथोग्राफी में, यह सख्त समानता CD और प्रोफाइल लक्ष्यों को स्पेसिफिकेशन में रखती है, जिसका मतलब है कम स्क्रैप और कम रीवर्क। पैकेजिंग में, तेज रैम्प क्योर विंडो को बिना ओवरशूट के छोटा करता है, जिससे थ्रूपुट बेहतर होता है। और क्योंकि SWIR सीधे हीट करता है न कि चेंबर को, ऊर्जा उपयोग कम होता है।
यहाँ आवश्यक विवरण हैं
इंस्टॉलेशन टूल के मैकेनिकल एनवलप और कूलेंट लूप्स से मेल खाने तक सीमित है। हम इंटरफेस ड्राइंग और कनेक्टर सूची प्रदान करते हैं ताकि इंटीग्रेशन सरल हो।
एमिटर की लाइफ 10,000 घंटे के लिए रेट की गई है। इसके बाद आउटपुट ड्रिफ्ट समानता को प्रभावित कर सकता है जब तक आप रिप्लेसमेंट की योजना न बनाएं। इसलिए मेंटेनेंस विंडो पहले से तय करें—फ्लोर पर दिखने का इंतजार न करें।