जब तापीय नियंत्रण में खराबी आती है, तो उत्पादन प्रक्रिया पर नकारात्मक प्रभाव पड़ता है। साफ करने की प्रक्रिया में सूक्ष्म बूँदें शेष रह जाती हैं, और ये बूँदें दोषों का कारण बनती हैं। फोटोरेजिस्ट को सुखाने हेतु उपयोग में आने वाले उपकरण डिस्प्ले पर दर्शाए गए लक्ष्य तापमान को दर्शाते हैं; लेकिन वास्तव में तापमान में अंतर होता है, जिससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित होती है। समाधान यह नहीं है कि अधिक ऊष्मा दी जाए – बल्कि नियंत्रित ऊष्मा ही आवश्यक है।
वास्तविक प्रक्रियाओं में इसकी उपयोगिता
लिथोग्राफी में, NIR ड्रायर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने हेतु आवश्यक तापमान प्रदान करता है; इससे TMU कम हो जाता है एवं CD की एकरूपता बनी रहती है। सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में, यह अंतिम नमी को भी दूर कर देता है, जिससे पुनर्कार्य एवं अपशिष्ट कम हो जाता है। पैकेजिंग में, यह तेज़ एवं स्थिर गति से कार्य करता है, जिससे चक्र समय कम हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊष्मा केवल आवश्यक समय पर ही प्रदान की जाती है। इसकी विश्वसनीयता वास्तविक परिस्थितियों में भी सिद्ध हो चुकी है – यह 24/7 कार्य करता है, बिना किसी अप्रत्याशित बंद होने की स्थिति के; एवं इसकी सेवा अवधि हजारों घंटों तक रहती है।
व्यावहारिक विवरण
NIR ड्रायर, मौजूदा उपकरणों में भी उपयोग में आ सकता है; लेकिन इसके ऑप्टिकल मार्ग को साफ एवं सही ढंग से संरेखित रखना आवश्यक है। एमिटर विंडो के आसपास स्वच्छ क्षेत्र बनाना आवश्यक है, एवं यह भी सुनिश्चित करना आवश्यक है कि उपयोग किया जाने वाला फोटोरेजिस्ट, एमिटर के स्पेक्ट्रम के अनुरूप हो। जब अलग-अलग प्रकार के फोटोरेजिस्ट का उपयोग किया जाता है, तो थोड़ा समायोजन आवश्यक होता है; एवं नए सेटपॉइंटों को दस्तावेज़ीकृत करना आवश्यक है। एक बार सब कुछ सही ढंग से संरेखित हो जाने के बाद, प्रक्रिया नियंत्रण में ही रहती है।