लिथोग्राफी प्रक्रिया में, आपको पता ही होगा कि स्थितियाँ कितनी संवेदनशील होती हैं। अगर तापमान में आधा डिग्री भी परिवर्तन हो जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। अगर तापमान बहुत अधिक हो जाए, तो रेजिस्ट मटिरियल इतना कठोर हो जाता है कि यह डेवलपर के कार्य में बाधा डाल देता है; इससे अनचाहे परिणाम हो जाते हैं।
और वे इन्फ्रारेड लैंप… वे सिर्फ हीटर नहीं हैं… वे तो प्रक्रिया हेतु उपयोग में आने वाले उपकरण हैं।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे लैंप बनाते हैं जो शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड किरणों का उपयोग करते हैं… ताकि रेजिस्ट मटिरियल तेजी से ऊष्मा अवशोषित कर सके। इससे तापमान में कम से कम परिवर्तन होता है, एवं वेफरों पर तापमान समान रहता है… ±0.1°C के भीतर। एमिटर को स्थिर वोल्टेज पर रखा जाता है, ताकि आउटपुट स्थिर रहे… एवं यह उपकरण क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आ सकता है… जहाँ कोई कण उत्पन्न न हो। इस लैंप का जीवनकाल 5,000 घंटे से अधिक होता है… एवं आउटपुट में 5% से भी कम कमी होती है… इसलिए यह 24/7 चल सकता है।
प्रक्रिया में इसका क्या महत्व है?
“सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से रेजिस्ट मटिरियल चिपक जाता है… एवं विलायक निकल जाता है। “हार्ड बेक” प्रक्रिया से एटच मास्क की अखंडता बनी रहती है। इस लैंप के उपयोग से प्रत्येक बैच में तापमान समान रहता है… इससे CD नियंत्रण एवं उत्पादन दक्षता में सुधार होता है।
ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… क्योंकि लैंप केवल लक्ष्य वस्तु को ही गर्म करता है… न कि उसके आसपास के हिस्सों को। कम लैंप बदलने की आवश्यकता होती है… इससे प्रक्रिया में देरी नहीं होती… एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
लैंप को चैंबर की ज्यामिति एवं क्वार्ट्ज विंडो की विशेषताओं के अनुरूप ही चुनना आवश्यक है… अन्यथा परावर्तन एवं हॉट स्पॉट के कारण समानता बनी नहीं रहेगी। कनेक्टर के प्रकार, वोल्टेज एवं शीतलन प्रणाली की जाँच भी आवश्यक है।
पायरोमीटर एवं एमिटर के आउटपुट को नियमित रूप से पुनः समायोजित करना आवश्यक है… लैंप अपना काम तभी ठीक से कर पाएगा, जब पूरी प्रणाली सही ढंग से काम कर रही हो।