फ़ैब फ़्लोर पर, आप जानते हैं कि यह कैसे चलता है: एक आधा डिग्री का डिफ़्ट सॉफ़्ट बेक में फोटोरेसिस्ट प्रोफ़ाइल को बदल देता है, और वह बदलाव आपके क्रिटिकल डाइमेंशन को प्रभावित करता है। थर्मल बजट सख्त है, और चूक करने की कोई गुंजाइश नहीं है।
अंदर क्या मायने रखता है हम RTP लैंप को हाई-प्योरिटी क्वार्ट्ज के माध्यम से शॉर्ट-वेव हैलोजन हीटिंग के साथ चलाते हैं, ताकि ऊर्जा तेज और दिशा में हो। सिस्टम पूरे प्रोसेस विंडो में ±0.1°C के भीतर वेफर-लेवल थर्मल यूनिफॉर्मिटी बनाए रखता है, फोटोरेसिस्ट सॉफ़्ट बेक से लेकर हार्ड बेक तक। रिपीटेबिलिटी शॉट-टू-शॉट है, और बंद-लूप नियंत्रण लोड के तहत सेटपॉइंट को स्थिर रखता है। यह क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए बनाया गया है, जिसमें शून्य कण उत्पादन और कम आउटगैसिंग है। ये यूनिट्स 24/7 ड्यूटी पर चलती हैं, और हमने 5,000+ घंटे में 5% से कम आउटपुट ड्रॉप के साथ काम किया है। यहां क्यों मायने रखता है लिथोग्राफी में, एक स्थिर बेक तापमान वह है जो CDs को लक्ष्य पर बनाए रखता है और लाइन-एज रफनेस को नियंत्रित करता है। टाइट यूनिफॉर्मिटी का मतलब है कि कम एज रिजेक्ट्स और समग्र उपज अधिक साफ होती है। तेज़ रैम्प रेट्स साइकिल समय को बिना बेकिंग तनाव को स्टैक में डालें कम करती हैं, और दक्षता ऑपरेटिंग लागत को घटाती है। इसका परिणाम कम एक्सकर्शन, कम रीवर्क, और ऐसा आउटपुट है जिस पर आप भरोसा कर सकते हैं। पैकेजिंग में, वही थर्मल स्थिरता आपको विश्वसनीय ठोस बंधन इंटीग्रिटी देती है, ताकि लाइन चलती रहे। वो चीज़ें जिन्हें आप सही करना चाहेंगे लैंप उच्च-तीव्रता का है, इसलिए आपके चेंबर इंटरफेस को थर्मल रूप से इससे मेल खाना चाहिए। हम इंटरफेस ड्रॉइंग प्रदान करते हैं, और हम ±1% के भीतर वोल्टेज स्थिरता के साथ एक समर्पित पावर फीड की सिफारिश करते हैं। स्थिर अवस्था तक पहुँचने के लिए एक छोटा वॉर्म-अप अपेक्षित है—उस रैम्प के चारों ओर अपनी रेसिपी की योजना बनाएं। इसे ठीक से सेट करें, और आपको न्यूनतम अनियोजित डाउनटाइम के साथ स्थिर प्रदर्शन मिलेगा।