फैब फ्लोर पर, आप जानते ही हैं कि फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक के दौरान 2°C का अंतर ही हफ्तों की मेहनत को बर्बाद कर सकता है। लिथोग्राफी में थर्मल ड्रिफ्ट? ऐसी स्थिति में काम करना असंभव है। वेफरों के सूखने की प्रक्रिया में असमानता? यह भी समस्याग्रस्त है। हीटिंग एलिमेंट को मशीन की प्रक्रिया के अनुरूप ही काम करना होता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने मोलिब्डेनम सपोर्ट वाले इन्फ्रारेड लैंप को उच्च-उत्सर्जन वाले फिलामेंट एवं रिफ्लेक्टरों के साथ डिज़ाइन किया है; इससे तापमान नियंत्रण संभव हो जाता है, एवं वेफरों पर तापमान की असमानता ±0.1°C तक ही रहती है। मोलिब्डेनम सपोर्ट, बार-बार होने वाले थर्मल साइकलों के दौरान भी अपना आकार बनाए रखता है। लैंप का आवरण क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग के लिए उपयुक्त है। लैंप का आउटपुट स्थिर रहता है; 5,000 घंटों तक चलने के बाद भी इंटेंसिटी में 5% से कम ही बदलाव होता है।
यह आपके काम के लिए क्यों उपयुक्त है?
यह लैंप, वेफरों के सूखने, फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट/हार्ड बेक, पैकेजिंग, एवं क्लीनिंग की प्रक्रियाओं के लिए ही डिज़ाइन किया गया है। उच्च स्तर की एकरूपता से वेफरों पर तापमान की असमानता कम हो जाती है, जिससे रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है। तेज़ एवं नियंत्रित तापमान वृद्धि से बेकिंग प्रक्रिया में कोई देरी नहीं होती, जिससे उत्पादन दर बढ़ जाती है। स्वच्छ एवं कण-रहित हीटिंग प्रणाली, संवेदनशील प्रक्रियाओं में वेफरों की गुणवत्ता को बनाए रखने में मदद करती है।
इंस्टॉलेशन संबंधी जानकारी:
इस लैंप को इंस्टॉल करते समय सटीकता आवश्यक है। लैंप के आवरण को चेंबर के पोर्ट से मेल खाना चाहिए, एवं माउंटिंग इंटरफेस की जाँच भी आवश्यक है। अनुपालन न होने पर हॉट स्पॉट बन जाते हैं, जिससे तापमान में बदलाव हो जाता है। लैंप उच्च ऊर्जा घनत्व पर काम करता है; इसलिए पावर बस की क्षमता की जाँच आवश्यक है, एवं एयरफ्लो पथों को भी साफ रखना आवश्यक है। इससे फिलामेंट का तापमान स्थिर रहता है। आउटपुट स्थिर होने में कुछ समय लगता है; इसलिए अपनी प्रक्रियाओं को इस समय के अनुसार ही तैयार करें, ताकि हर बार एक ही परिणाम प्राप्त हो।