别再浪费时间等待晶圆加热了 如果你仍然使用热空气循环的方式来加热晶圆，那其实是在与时间作无谓的斗争。因为热空气的加热速度很慢，必须先让整个腔室以及其中的空气都达到合适的温度，晶圆才能感受到温度变化。这种漫长的等待过程会大大浪费你的时间。 而改用红外线加热方式则完全不同。红外线可以直接将能量传递到晶...

利用短波红外技术降低制造过程中的碳排放 如果我们真想实现半导体制造领域的碳中和目标，那就必须停止那种为了加热某一个部件而让整个系统都处于高温状态的做法。传统的对流式加热方式其实是一种浪费——这就好比试图通过给房子里的每个房间加热来让那一片披萨变暖一样。 这时，短波红外技术就派上用场了。它不通过加热...

在制造过程中防止灰尘的产生 如果你身处100级洁净室环境，那么你一定知道：哪怕只有一粒微小的灰尘或少量挥发物出现，整批产品都会报废。对于这种环境来说，普通的加热元件简直就是灾难——它们容易碎裂、剥落，还会让挥发性物质泄漏到工作区域中。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制作红外线灯。因为它的化学...