Zodra een Micro LED-wafer klaar is met het reinigingsproces, begint de tijd te tellen. Restanten van vocht en thermische effecten kunnen de kwaliteit van de wafer snel beïnvloeden. De verhitting van de fotoresist moet precies binnen een bereik van ±0,1°C plaatsvinden; anders kan er sprake zijn van problemen met de precisie van de lijnen en de hechting van de fotoresist op de wafer. De droogheater moet deze nauwkeurigheid behouden, zonder dat er particules worden gegenereerd en zonder dat de temperatuurstabiliteit wordt verstoord.
Het apparaat moet eenvoudig gezegd de temperatuur constant houden, snel reageren op veranderingen en schoon blijven. We hebben onze droogheater ontworpen met behulp van kortegolf-infrarood-elementen in een kamertje dat is geïsoleerd met kwarts. Hierdoor kan de wafer snel tot de gewenste temperatuur worden gebracht en blijft deze temperatuur dan stabiel. De uniformiteit van de temperatuur over het actieve gebied van de wafer is ±0,1°C. Dankzij de precisiecontrole blijft de thermische balans behouden.
Het apparaat is ontworpen voor gebruik in een schone omgeving van klasse 1–100. De binnenkant van het apparaat is gepolijst en de luchtcirculatie is zo geregeld dat er geen particules worden gegenereerd. De parameters voor het verhitten van de fotoresist blijven consistent, omdat de controlealgoritmen rekening houden met de massa van de materiaaldeeltjes en eventuele afwijkingen in de omgevingstemperatuur. De betrouwbaarheid van het apparaat is gegarandeerd voor 24 uur per dag; we beloven geen onverwachte stilstand tijdens het productieproces.
U wilt immers een hoge opbrengst behalen. Deze droogheater verkort de tijd die nodig is voor het drogen en verhitten van de wafer, verminderd de wachttijd tussen het reinigen en de lithografie, en reduceert het aantal defecte producten. De energieverbruik neemt ook af, omdat de droogheater snel kan reageren en de gewenste temperatuur kan behouden. De onderhoudsfrequentie neemt ook af, omdat het apparaat minder warmte genereert en de elementen bestand zijn tegen duizenden cycli.
Een praktisch advies bij de installatie: de droogheater heeft een aparte 240 V-aansluiting nodig, evenals schoon en droog lucht om de zuiveringsprocedure te kunnen uitvoeren. Het is belangrijk dat de afmetingen van het apparaat goed passen bij de interface van uw apparaten. We leveren dimensionele tekeningen en schema’s om te zorgen dat alles goed past en het proces soepel verloopt.