Op de lijn voor herverdeling van warmte is temperatuur geen gewone parameter – het is zelfs het proces zelf. Een verschil van 5°C tijdens het verhitten van de fotoresistent of het harden van epoxy kan ertoe leiden dat de hoogte van de ‘bumps’ verandert, waardoor de kwaliteit van het product afneemt en er meer defecten ontstaan. Deze hitteverdelingsheater is ontworpen om de thermische condities op het gewenste niveau te houden: steeds op het vereiste niveau, cyclus na cyclus.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Er wordt een stabiliteit van ±0,1°C behaald over het actieve oppervlak, zodat de parameters van het verhittingproces zonder constante aanpassingen kunnen worden herhaald. Kortegolf-infraroodelementen zorgen voor snelle en efficiënte warmteoverdracht, met minimale vertragingen. De verzamelzone is geïsoleerd met kwarts, zodat er nauwelijks deeltjes worden gegenereerd. Het apparaat is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De ingangsspanning en -sterkte komen overeen met die van standaard verpakkingsapparaten. Het apparaat kan gemakkelijk worden geïntegreerd in reflow- en héttingsmodules.
Dit apparaat werkt goed omdat er dunne lagen worden gebruikt, met strenge toleranties en dure wafermaterialen. De heater zorgt ervoor dat de thermische condities gelijk blijven van het midden naar de randen, waardoor er minder herwerk nodig is en de herverdelingslaag beschermd blijft. Hierdoor heeft men een betere kwaliteit van het product en kan men de productie beter plannen. Bovendien verbruikt het apparaat weinig energie: het bereikt snel het gewenste temperatuurniveau en houdt dit niveau vast, zonder dat er sprake is van overdreven warmte. Het apparaat is al bewezen te werken 24/7; ongeplande stilstanden leiden immers tot verliezen in productie.
Enkele praktische tips
Het apparaat kan worden geïntegreerd in standaardapparatuur, maar de vereisten voor correcte alignment zijn sterk. Reserveer dus een dagdeel voor integratie en validatie van de verhittingparameters. Na langdurige stilstand zal het ongeveer 30 minuten duren voordat het apparaat zich in een evenwichtige toestand bevindt. Houd ook de luchtvochtigheid onder controle; bij materiaal dat gevoelig is voor vocht, hangt de herhalbaarheid af van deze factor.
Dit is geen eenvoudig toe te passen apparaat. Het is een cruciaal apparaat dat vereist dat alles nauwkeurig wordt ingesteld.