Op de productieafdeling wacht de productielijn nergens op. Eén enkele temperatuurschommeling tijdens het zachte of harde bakproces kan al ertoe leiden dat de belangrijke afmetingen van de wafers veranderen. Hierdoor moeten de wafers worden weggegooid en stopt het proces van lithografie. Er is dus behoefte aan een verwarmingsplatform dat continu werkt, in plaats van dat het het grootste deel van de dag stil staat.
Wat technisch gezien belangrijk is: We houden de uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de wafers op ±0,1°C. Hierdoor blijft de thermische balans behouden en kan de controle over de afmetingen van de wafers optimaal worden uitgevoerd. Kortegolf- en middengolflasers, gecombineerd met kwarts- en koolstofvezelversterkte modules, zorgen voor een snelle temperatuurstijging met minimale vertragingen. Dit zorgt voor stabiele temperatuurprofijlen van 90°C tot 150°C, keer op keer.
Het apparaat werkt zuiver – er zijn geen partikels te vinden – waardoor het gemakkelijk kan worden geplaatst in een schone ruimte van klasse 1–100. Bij 24/7 gebruik is er geen onverwachte stilstand mogelijk. De gemeten MTBF ligt boven de 30.000 uur. Dankzij de gesloten luscontrole, opslag van recepten en traceerbare temperatuurdatabases blijft de reproduceerbaarheid hoog.
Waarom dit systeem geschikt is voor lithografie: De toleranties bij het bewerken van photoresistenten zijn zeer klein. Het systeem houdt de gewenste temperatuur binnen nauwe grenzen. Hierdoor wordt de oplossing evenredig verwarmd, zonder dat er risico’s zijn op oververhitting of onderverhitting. Dit leidt tot minder herwerkingswerkzaamheden, hogere opbrengsten en betrouwbare prestaties.
De energieverbruik wordt verminderd door pulscontrol en warmterecuperatie. Hierdoor kunnen de operatiekosten worden verlaagd, zonder dat de productiesnelheid wordt verminderd.
Een paar praktische details: Voor de installatie is speciale stroomopwaardering nodig. Hierdoor blijft de temperatuur stabiel, zelfs tijdens storingen in het elektriciteitsnet. Het vervangen van modules kan zonder gereedschap worden uitgevoerd. Echter, voor een volledige integratie met bestaande interfaces is het nodig om eerst een kort testproces uit te voeren, zodat de recepten goed zijn ingesteld en de gegevens nauwkeurig worden opgeslagen.
Plan voor een inrichtingsperiode van twee uur, gevolgd door een 24-uurs testperiode om te controleren of er geen temperatuurschommelingen zijn.