מנורת עיבוד תרמי מהיר (RTP)
על רצפת המפעל אתם יודעים איך זה עובד: סטייה של חצי מעלה בתהליך ה-soft bake מזיזה את פרופיל הפוטורזיסט, והזזה זו משפיעה על הממד הקריטי שלכם. תקציב...
מחמם לעיבוד פרוסות אופטיות
Out on the fab floor, a 300mm wafer sits, waiting for that soft bake to lock in the photoresist profile. One hot spot, one cold zone, and your...