על רצפת המפעל
אתם יודעים איך זה עובד: סטייה של חצי מעלה בתהליך ה-soft bake מזיזה את פרופיל הפוטורזיסט, והזזה זו משפיעה על הממד הקריטי שלכם. תקציב החום מדויק ואין מקום לחריגה.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
אנחנו מפעילים מנורות RTP עם חימום הלוגן בגל קצר דרך קוורץ טהור מאוד, כך שהאנרגיה מהירה וכיוונית. המערכת שומרת על אחידות תרמית ברמת הוופר בטווח ±0.1°C לאורך כל חלון התהליך, מ-soft bake ועד hard bake של הפוטורזיסט. החזרה על התהליך זהה בכל הדלקה, ובקרת השליטה המעגלית שומרת על נקודת הסט של הטמפרטורה יציבה תחת עומס.
המערכת מיועדת ל-class 1–100 חדר נקי, עם אפס יצירת חלקיקים ופליטת גזים מינימלית. היחידות עובדות 24/7, והשימוש הנצבר עלה על 5,000 שעות עם ירידה בתפוקה של פחות מ-5%.
למה זה חשוב במקום שבו אתם עובדים
בליתוגרפיה, טמפרטורת אפייה יציבה היא זו ששומרת על ממדים קריטיים מדויקים ועל רמת שטיחות קצה קבועה. אחידות הדוקה מפחיתה דחיות על הקצה ומעלה את התפוקה הכללית. קצב העלייה המהיר חותך בזמן מחזור בלי להכניס עומסים תרמיים למבנה, והיעילות מורידה את עלויות התפעול.
התוצאה היא פחות סטיות, פחות עבודות תיקון, ותפוקה שניתן לסמוך עליה. בתחום האריזה, יציבות תרמית דומה מבטיחה ריפוי אמין ואטימות חיבורית יציבה, כך שהקו ממשיך לפעול.
הנקודות שעליכם לדאוג להן
המנורה היא בעלת עוצמה גבוהה, ולכן הממשק לחדר חייב להתאים מבחינה תרמית. אנו מספקים שרטוטי ממשק וממליצים על אספקת כוח ייעודית עם יציבות מתח בטווח ±1%. יש לצפות לתהליך חימום קצר עד הגעה למצב יציב—תכננו את המתכונים בהתאם לעלייה זו. הגדרו את המערכת כראוי ותקבלו ביצועים יציבים עם זמני השבתה בלתי מתוכננים מזעריים.