Out on the fab floor, a 300mm wafer sits, waiting for that soft bake to lock in the photoresist profile. One hot spot, one cold zone, and your linewidth control is gone. The line stops. We built this optical wafer processing heater to keep that from happening in the first place. מה שחשוב טכנית היחידה מתבססת על מפיצי кварץ אינפרא-אדום קצר-גל (SWIR), שמזרימים אנרגיה ישירות לפוטורזיסט ולתת-הבסיס — במהירות, ישירות וללא סיבוכים. מתקבלת אחידות ברמת המשטח בתוך ±0.1°C על פני האזור הפעיל, כך ששלבי האפייה הקריטיים נשמרים במסגרת התקציב התרמי. התאמה לחדרים נקיים בדרגות Class 1 עד Class 100, ומפיק אפס חלקיקים במהלך הפעולה. החזרתיות בטמפרטורה נשמרת ב±0.2°C בין אצוות, ומחמם ממשיך לפעול 24/7 ללא השבתות בלתי מתוכננות. למה זה מתאים לעבודה שלנו המחמם עונה על ארבעה צירי חום עיקריים שאנו מתבססים עליהם: ייבוש וויפר, אפיית פוטורזיסט רכה וקשה, מילוי תחתון לאריזה וריפוי קפסולה, וייבוש לאחר ניקוי. בליתוגרפיה, האחידות הצמודה שומרת על יעדי רוחב קו ופרופיל במפרט, מה שמפחית פסולת ותיקונים. באריזה, העלייה המהירה בטמפרטורה מקצרת את חלון הריפוי ללא חריגה, ומשפרת את התפוקה. וכיוון ש-SWIR מחמם ישירות במקום את תא העבודה, צריכת האנרגיה יורדת. הנה הפרטים הדרושים ההתקנה מתמקדת בהתאמת המעטפת המכאנית של הכלי ומעגלי הקירור. אנו מספקים שרטוטי ממשק ורשימת מחברים להקלת האינטגרציה. חיי המפיץ מדורגים ל-10,000 שעות. לאחר מכן, סטייה ביציאת האנרגיה עלולה להשפיע על האחידות אלא אם מתכננים החלפות מראש. לכן מומלץ לתכנן את חלון התחזוקה מראש — לא להמתין להופעת הבעיה על רצפת הייצור.