מנורת אפייה באטמוספירה מבוקרת

בשלב הליתוגרפיה, שלב החימום אינו רק הפסקה בתהליך – הוא למעשה גבול ברור בתהליך עצמו. אם טמפרטורת החימום אינה יציבה, זה ישפיע על שליטה ברוחב הקווים. אם...