In der Fertigungshalle wartet die Produktionslinie auf nichts. Schon eine kleine Temperaturschwankung während des Weichbrennvorgangs oder des Härtebrennvorgangs kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen der Wafer nicht mehr eingehalten werden. Die Wafer müssen dann verworfen werden – die Lithografieprozesse kommen ins Stocken. Man benötigt daher eine Heizplattform, die ständig in Betrieb ist und nicht den größten Teil des Tages untätig bleibt.
Was technisch wichtig ist:
Wir halten die Homogenität der Temperatur auf dem Wafer-Level bei ±0,1°C – damit bleibt das thermische Budget gewahrt und die Kontrolle über die Abmessungen der Wafer wird erleichtert. Kurzwelliges und mittelwelliges Infrarotlicht, in Kombination mit Quarz- und Kohlenstofffasermodulen, sorgt für eine schnelle Erhitzung der Wafer mit minimalem Zeitverzug. Dadurch entstehen stabile Temperaturprofile zwischen 90°C und 150°C – von Zyklus zu Zyklus.
Die Hardware arbeitet zuverlässig – es gibt keine Störungen durch Partikel. Daher eignet sie sich perfekt für Reinräume der Klasse 1–100. Bei 7×24-Stunden-Betrieb kommt es zu keiner unplanmäßigen Stillstandzeit. Die gemessene Lebensdauer beträgt über 30.000 Stunden. Durch die Schleifensteuerung sowie die Speicherung der Verfahrensparameter bleibt die Reproduzierbarkeit hoch.
Warum es in der Lithografie funktioniert:
Die Toleranzen beim Bearbeiten des Fotolacks sind sehr eng – das wissen alle. Das System hält die Temperatur innerhalb enger Grenzen, sodass beim Weichbrennvorgang die Lösungsmittel gleichmäßig aus dem Lack entfernt werden können. Beim Härtebrennvorgang wird die Schicht ohne Über- oder Unterbrennen geformt. Dadurch werden weniger Nacharbeiten notwendig, die Ausbeute steigt und die Leistungsfähigkeit der Produktionslinie bleibt konstant.
Durch Pulssteuerung und Wärmerückgewinnung wird der Energieverbrauch reduziert – dadurch sinken die Betriebskosten, ohne dass die Produktivität beeinträchtigt wird.
Einige praktische Hinweise:
Für die Installation ist eine spezielle Stromversorgung erforderlich. Sie sorgt dafür, dass temporäre Schwankungen im Stromnetz keine Auswirkungen auf die Temperaturstabilität haben. Der Austausch der Module erfolgt ohne Werkzeuge – doch eine vollständige Integration in die bestehenden Anlagen erfordert in der Regel einen kurzen Testlauf, um sicherzustellen, dass die Verfahrensparameter korrekt eingestellt sind und die Datenverarbeitung reibungslos funktioniert.
Planen Sie einen zweistündigen Einrichtungsaufwand sowie einen 24-stündigen Testbetrieb, um sicherzustellen, dass es zu keiner Temperaturschwankung kommt.