Auf dem Fertigungsboden liegt eine 300mm Wafer und wartet auf das Softbake, um das Photoresist-Profil zu fixieren. Ein Hotspot, eine kalte Zone und die Linienbreitenkontrolle ist verloren. Die Linie steht still. Wir haben diesen optischen Waferverarbeitungserhitzer entwickelt, um genau das von vornherein zu verhindern.
Was technisch tatsächlich zählt
Die Einheit setzt auf kurzwellige Infrarot-(SWIR)-Quarzstrahler, die Energie direkt und schnell in das Photoresist und das Substrat einbringen – schnell, direkt und ohne Umwege. Sie erreichen Wafer-Ebenen-Uniformität innerhalb von ±0,1°C über die aktive Fläche, sodass die kritischen Backschritte im thermischen Budget bleiben. Der Erhitzer ist Reinraum-kompatibel von Klasse 1 bis Klasse 100 und erzeugt während des Betriebs keinerlei Partikel. Die Temperaturwiederholgenauigkeit liegt bei ±0,2°C von Charge zu Charge, und der Erhitzer arbeitet kontinuierlich 24/7 ohne ungeplante Ausfallzeiten.
Warum er zu unserer Arbeit passt
Dieser Erhitzer erfüllt die vier thermischen Kernanforderungen, die für uns entscheidend sind: Wafer-Trocknung, Photoresist-Softbake und Hardbake, Packaging-Underfill und Aushärtung der Verkapselung sowie Trocknung nach der Reinigung.
In der Lithografie sorgt die enge Gleichmäßigkeit dafür, dass CD- und Profilziele eingehalten werden, was zu weniger Ausschuss und weniger Nacharbeit führt. Im Packaging verkürzt das schnelle Aufheizen das Aushärtefenster ohne Überschwingen, was den Durchsatz erhöht. Und da SWIR direkt und nicht über eine Kammer heizt, sinkt der Energieverbrauch.
Hier die Details, die Sie benötigen
Die Installation beschränkt sich auf die Anpassung an den mechanischen Raum und die Kühlkreisläufe des Werkzeugs. Wir stellen die Schnittstellendokumentation und die Anschlussliste bereit, um die Integration zu erleichtern.
Die Lebensdauer der Strahler ist mit 10.000 Stunden angegeben. Danach kann ein Ausgangsdrift die Gleichmäßigkeit beeinträchtigen, sofern keine Ersatzplanung erfolgt. Planen Sie daher das Wartungsfenster rechtzeitig – warten Sie nicht, bis es auf dem Fertigungsboden auffällt.