Die richtige Temperatur für die Wafer erreichen – ohne Energieverschwendung
In einem Reinraum kann es dazu kommen, dass die Temperatur der Wafer während des Transports sinkt. Das führt zu großen Problemen. Deshalb verwenden wir Heizungen auf Rollen. Doch das eigentliche Problem ist nicht die Menge an Wärme, die erzeugt werden kann – vielmehr geht es darum, sicherzustellen, dass die Wärme tatsächlich bei der Wafer ankommt und nicht nur das Metallgehäuse erwärmt wird.
Warum wir Gold verwenden
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch diese absorbieren viel zu viel Infrarotenergie. Wir haben daher auf hochreine Goldbeschichtungen umgestellt. Diese reflektieren mehr als 98 Prozent der Strahlung. Man kann sich das wie ein Spiegel vorstellen: Anstatt dass die Energie überall hinstreut, lenkt die Goldbeschichtung sie in eine bestimmte Richtung. Dadurch wird die Heizung zu einem fokussierten Strahl – somit wird jede einzelne Wattstunde effektiv genutzt.
Geschwindigkeit und das Problem der „heißen Stellen“
Wir verwenden Hochleistungs-Lampen mit Kurzwellenstrahlung – dadurch wird die Wafer schnell erhitzt. Das ist genau das, was man möchte. Doch es gibt ein Problem: Wenn die Goldbeschichtung nicht perfekt gleichmäßig ist, entstehen heiße Stellen auf der Wafer. Deshalb legen wir großen Wert auf den Auftragvorgang der Goldbeschichtung. Wir brauchen eine spiegelglatte Oberfläche, damit die Temperatur über die gesamte Breite der Wafer gleichmäßig bleibt.
Der Kompromiss: Vorsichtig behandeln
Gold eignet sich hervorragend zur Fokussierung der Wärme – doch es ist etwas anspruchsvoll in der Handhabung. Man darf diese Oberflächen nicht mit abrasiven Reinigungsmitteln reinigen. Schon eine kleine Kratzspur oder chemische Ablagerungen können die Reflektionsfähigkeit stark verringern. In solchen Fällen müssen die Lampen doppelt so hart arbeiten, um die Temperatur aufrechtzuerhalten – dadurch brennen die Glühfäden schneller aus.
Noch einen Tipp: Überprüfen Sie Ihre PID-Controller. Da Gold dazu führt, dass das System viel schneller reagiert als bei herkömmlichen Heizungen, werden die Temperatursprünge deutlicher. Sie müssen die entsprechenden Parameter genau einstellen – sonst riskieren Sie, die Wafer zu verbrennen.