
正确地让晶圆固化:关键在于反射效果
在让晶圆固化的过程中,热量是必不可少的。但不仅仅是“有热量”就行——更重要的是,热量必须能够精确地作用于晶圆表面。
大多数人只把反射器看作是一种简单的部件而已。但我认为它其实是最重要的工具。如果反射器的设定不当,那么你所付出的成本就都浪费在了加热机器的机体上,而不是用于加热晶圆本身。这无疑是一种极大的浪费。
充分利用每一缕光线
我们注重的是所谓的“视野因子”。简单来说,就是确保光源与晶圆能够直接对视。通过使用镀金基底或高纯度铝材料,我们可以让超过95%的短波红外辐射直接照射到晶圆上。这就相当于使用了激光聚焦的效果。
最棒的是,一旦不再浪费能量,处理速度就会加快。晶圆很快就能达到所需的温度,这样一来,固化周期也会相应缩短。这样一来,就不需要再使用那些占用大量空间的巨大烤箱了。
适配现代制造环境
如果你经营的是智能工厂,那你肯定希望拥有可靠的数据。当反射器能够正常工作时,计算就变得很简单了:输入的能量等于晶圆表面的热量。无需再猜测什么了。这样一来,PLC就能更轻松地控制温度,从而避免能量损失。
这些产品都是可直接替换的,因此更换起来非常方便。不过有一点需要注意:一定要确保其定位准确。哪怕是微小的角度偏差,都可能导致晶圆上出现“冷点”。一旦出现这种情况,整个批次的产品都会出现质量问题。
折中之道
不过,这样做也有缺点。因为如此高的热量会给灯管的石英外壳带来很大的压力。所以,你需要仔细检查冷却风扇,确保它们能够有效散热。否则,灯管很容易过早损坏。只要保持灯管冷却,就能解决问题了。