如何保持100级洁净室内的清洁度（同时实现高效加热）
在100级洁净室中工作时，哪怕只有一粒灰尘也是不可接受的。哪怕只有一小片碎屑或来自加热器的微量气体，都可能导致晶圆或光学元件被毁掉。这简直就是一场噩梦。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这类灯具专为需要极高洁净度的操作环境而设计，因为“几乎干净”根本不够用。
为何要选择石英材料
我们使用的是含OH-含量较高的熔融硅石英。换句话说，这种材料在高温下不会分解，也不会产生微小的颗粒。
由于这些红外灯是利用辐射来传递热量的，因此无需担心空气流动会带来灰尘污染。没有风扇，没有风，自然也就不会造成污染。
此外，石英外壳是密封的，这样可以防止灯丝氧化。我们还会保持高纯度，这样灯管在温度变化时也不会出现裂纹。
正确设置设备参数
根据工作台上的空间大小，我们可以调整功率和电压。如果选择高功率密度的灯管，那么加热区域就会更小且更集中。不过，请注意确保电源能够承受初始的电流冲击，否则就会出现问题。
我们使用标准的连接器，因此这些灯管通常可以直接安装到位。但有一点很重要：请务必使用涂有特氟龙涂层的导线。如果使用普通的PVC绝缘材料，它会在受热后立刻融化并释放出气体，从而导致整个洁净室被污染。
必须接受的权衡
诚然，高纯度石英具有出色的耐热性，但它也很脆弱，无法承受机械冲击。如果在安装过程中不小心，灯管就可能会损坏。
另外，这些灯管会将热量集中在一个很小的范围内。如果不小心的话，可能会导致工作台表面过热。我建议使用专用的散热器或反射层，这样可以将热量引向需要加热的部件，同时避免设备框架过热。